渦旋干泵是一種干式的真空泵，其無需加油換油，也沒有含油廢氣的排放，使用維護(hù)也非常方便，所以受到了很多客戶的青睞。渦旋干泵可以用于質(zhì)譜儀器、樣品前處理、冷凍干燥、手套箱、電子顯微鏡等應(yīng)用，同時，還非常適合作為分子泵前級，或者為半導(dǎo)體、鍍膜等工藝的 Load Lock 腔室抽真空。

渦旋干泵的設(shè)計壽命一般為10年以上，但是為了避免計劃外的故障停機(jī)，合理的使用和維護(hù)也非常重要。

正確的使用氣鎮(zhèn)

真空腔體的內(nèi)壁會吸附水分（特別是在潮濕的季節(jié)），這些水分在真空下會汽化形成大量的水蒸氣。水蒸氣被真空泵吸入壓縮后，將會凝結(jié)成液態(tài)水并積存在泵內(nèi)，造成真空泵極限真空變差，內(nèi)部生銹，噪音增大等問題。要解決這個問題，就需要用到氣鎮(zhèn)。氣鎮(zhèn)起到向真空泵內(nèi)摻氣的作用：當(dāng)氣鎮(zhèn)口打開時，吸入外部干燥氣體以稀釋泵內(nèi)水蒸氣，從而避免水蒸氣凝結(jié)。對于水汽含量較大的應(yīng)用，建議一直打開氣鎮(zhèn)；對于要求極限真空或者水汽含量較小的應(yīng)用，可以在需要排水時讓泵帶氣鎮(zhèn)持續(xù)運行約1個小時，然后重新將氣鎮(zhèn)口關(guān)閉。

IDP 7/10/15等型號設(shè)置了雙氣鎮(zhèn)口，更靠近排氣側(cè)的氣鎮(zhèn)對極限真空的影響很小，對極限真空要求高的應(yīng)用可以選擇開這個氣鎮(zhèn)。氣鎮(zhèn)的使用方法：使用空氣進(jìn)行氣鎮(zhèn)時，擰下氣鎮(zhèn)口堵頭螺絲，然后換上帶金屬濾嘴的氣鎮(zhèn)螺絲即可；如使用通過管道引入的氮氣、氬氣或干燥壓縮空氣（CDA），需要把進(jìn)氣壓力控制在表壓5 psi (0.3bar)以內(nèi)，并保持泵運行時的氣流量為5 升/分鐘左右。有大量粉塵的應(yīng)用一定要加裝粉塵過濾器

在粉塵量較大的應(yīng)用中，應(yīng)加裝進(jìn)氣口粉塵過濾器，以防止粉塵吸入。否則，大量的粉塵進(jìn)入泵腔，將造成泵腔嚴(yán)重磨損，使整臺泵失去維修價值。

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IDP系列的軸承被隔離在抽氣通道之外，所以不會受到被抽氣體的影響。而對于TS系列、SH110/SH112等軸承沒有被隔離的型號，為了防止腐蝕性氣體對軸承的侵蝕，泵在運行過程中，可以使用干燥氮氣通過吹掃口通入對軸承進(jìn)行保護(hù)，從而大大延長軸承的使用壽命。吹掃組件的使用方法：

擰下吹掃口堵頭螺絲，將吹掃組件安裝到吹掃口上，進(jìn)氣壓力需要控制在表壓5 psi (0.3bar)以內(nèi)，并保持泵運行時的吹掃流量為5 升/分鐘左右。

小保養(yǎng)-更換密封條

渦旋干泵工作時，泵腔內(nèi)的密封條會一直和對面的渦旋盤接觸并摩擦，為了保護(hù)渦旋盤，密封條的硬度會低很多，所以兩者摩擦?xí)r密封條會逐漸損耗，到達(dá)一定程度，就會帶來真空度下降等問題，所以需要定期更換。

通常把更換干泵密封條的操作叫做小保養(yǎng)。對于TS300/600, SH110, IDP-3等型號，密封條的更換周期為8000小時左右；IDP-7/10/15等型號的密封條壽命更長，更換周期為16000小時左右。

大保養(yǎng)-更換軸承等

渦旋干泵每使用5年左右，或者當(dāng)泵在運行過程中出現(xiàn)異響，通過清潔泵腔更換密封條等無法解決時，需要對泵進(jìn)行更換軸承等操作，一般叫做干泵大保養(yǎng)。 大保養(yǎng)包括：拆解清洗泵腔，更換全套軸承、小異型軸，更換全套密封圈，更換密封條，對整泵進(jìn)行泄漏檢測等。

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